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lintec快速響應質量流量控制器MC-7000 便攜式超聲波流量計

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更新日期:2024-03-24

簡要描述:

lintec快速響應質量流量控制器MC-7000
熱傳感器實現(xiàn)100msec(典型值)的高速流量控制。 Lintec的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實現(xiàn)腐蝕性氣體的超快速流量控制。

lintec快速響應質量流量控制器MC-7000 便攜式超聲波流量計
品牌其他品牌類型超聲波
測量范圍1m3/h

lintec快速響應質量流量控制器MC-7000

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超快質量流量控制器,響應時間為200毫秒。

熱傳感器實現(xiàn)100msec(典型值)的高速流量控制。 Lintec的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實現(xiàn)腐蝕性氣體的超快速流量控制。

它具有1.0%的SP±流量精度的高精度,可以選擇數(shù)字通信方式DeviceNet和EtherCAT進行。

長處

  • 超快流量控制 200 毫秒

  • 準確度±1%SP

  • 工作溫度 5~50°C

  • 金屬密封件

  • 清潔(保證顆粒)

  • 環(huán)境溫度補償傳感器

  • EtherCAT通信

  • 設備網(wǎng)絡™通信

超快流量控制

從全封閉控制
脈沖響應性

使用示例

快速蝕刻工藝

在半導體制造過程中,需要在小型化的同時提高吞吐量。 即使在控制反應氣體流量的質量流量控制器中,對縮短流量控制的啟動(啟動)時間的需求也在增加。 超高速質量流量控制器[MC-7000]是一種非接觸式熱流量傳感器,不接觸流量傳感器和流量測量氣體,實現(xiàn)200ms的超高速響應。 非接觸式可實現(xiàn)腐蝕性氣體流量測量的高速流量控制。

lintec快速響應質量流量控制器MC-7000

規(guī)格


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍低標準最高 F.S.密封
5~50°C50kPa300kPa±1%自保2~100%F.S.5SCCM20SLM



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