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lintec以太網(wǎng)CAT質(zhì)量流量控制器MC-5000C 便攜式超聲波流量計(jì)

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更新日期:2024-03-24

簡(jiǎn)要描述:

lintec以太網(wǎng)CAT質(zhì)量流量控制器MC-5000C
用于半導(dǎo)體工藝的高性能質(zhì)量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規(guī)的,可以通過(guò)EtherCAT通信進(jìn)行控制,EtherCAT通信用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的高速傳輸系統(tǒng)。

lintec以太網(wǎng)CAT質(zhì)量流量控制器MC-5000C 便攜式超聲波流量計(jì)
品牌其他品牌類型超聲波
測(cè)量范圍1m3/h

lintec以太網(wǎng)CAT質(zhì)量流量控制器MC-5000C

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用于 EtherCAT 通信的高性能質(zhì)量流量控制器。

用于半導(dǎo)體工藝的高性能質(zhì)量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規(guī)的,可以通過(guò)EtherCAT通信進(jìn)行控制,EtherCAT通信用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的高速傳輸系統(tǒng)。

半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的原始環(huán)境溫度補(bǔ)償流量傳感器作為標(biāo)準(zhǔn)安裝,并且可以作為液化氣支架等選項(xiàng)添加。


特點(diǎn)

  • 準(zhǔn)確度±1%SP

  • 金屬密封件

  • 清潔(保證顆粒)

  • 環(huán)境溫度保證傳感器

  • EtherCAT通信

選擇

  • 微流 F.S.

  • 兼容液化氣

使用示例

EtherCAT通信設(shè)備的通信統(tǒng)一

越來(lái)越多的半導(dǎo)體制造設(shè)備配備了EtherCAT通信(數(shù)字I / F),用于高速控制機(jī)械臂等運(yùn)輸系統(tǒng)。 EtherCAT通信有65,536個(gè)節(jié)點(diǎn),MFC的所有測(cè)量系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)元件都可以與EtherCAT通信統(tǒng)一。

lintec以太網(wǎng)CAT質(zhì)量流量控制器MC-5000C

規(guī)格


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍標(biāo)準(zhǔn)最高 F.S.sdaM
15~35°C50kPa300kPa±1%自保2~100%F.S.10SCCM300SLM





* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過(guò)選項(xiàng)進(jìn)行更改。



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