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日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1

訪問次數(shù):1514

更新日期:2025-05-02

簡要描述:

日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1
G-TRAN系列是基于(1)降低設(shè)備成本、(2)節(jié)省空間、(3)節(jié)省布線的概念開發(fā)的真空計,用于集中過程控制和各種設(shè)備的小型化。它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成,可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。

日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1

日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1

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G-TRAN系列是基于(1)降低設(shè)備成本、(2)節(jié)省空間、(3)節(jié)省布線的概念開發(fā)的真空計,用于集中過程控制和各種設(shè)備的小型化。
它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成,可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。

特征

  • 探頭與測量電路一體化結(jié)構(gòu)

  • 模擬輸出和設(shè)定值輸出

  • 獨立的偽對數(shù)輸出和設(shè)定值輸出(顯示單元)

  • 采用 48 x 96mm DIN 標(biāo)準(zhǔn)尺寸(顯示單元)

用途

  • 用于半導(dǎo)體和電子零件等各種制造設(shè)備的過程控制

  • 用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的過程控制

  • 用于在線式和單晶片式等具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的工藝控制

日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1

規(guī)格

類型傳感器單元
模型SC1
自適應(yīng)探頭C-21、23、24、25
測量壓力范圍1.0×10 -5至 1.0 Pa
測量精度+100%,-50%(1.0×10 -4到 1.0×10 -1
工作溫度限制10~40℃
測量值輸出非線性輸出:DC0V 至 10V(HV-OFF 時為 10V)
SETPOINT1/2 調(diào)整輸出非線性輸出:0 至 10V DC
控制輸入信號高壓開/關(guān)
輸出信號集電極開路,負(fù)邏輯
控制輸出信號放電確認(rèn)/設(shè)定點 1/2
LED顯示屏功率、高壓、壓力保護(hù)、設(shè)定點 1/2
電源DC24V±2V, 150mA
輸入/輸出連接器D-sub-15 針(M2.6 螺絲)
身體質(zhì)量430g(不含觸控筆)
配件輸入/輸出連接器 1套
1份快速手冊


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