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智能真空計SC-10的原理及操作使用

  • 發(fā)布日期:2022-07-15      瀏覽次數(shù):2391
    • 智能真空計SC-10簡述

      SC-10智能真空計是我們開發(fā)的一種全新的方法,它是一種自動真空計,可以同時測量殘余氣體成分和全壓真空度。
      全壓真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空,當(dāng)總壓達到50Pa左右時,氣體成分的分壓自動啟動,可以從10-5Pa左右測量到10- 6帕。
      可以測量氣體成分并檢查粗壓區(qū)域的泄漏,這是傳統(tǒng)氣體分析儀無法做到的。

      智能真空計SC-10原理

      頻譜模式屏幕

      SC-10 通過測量總壓力的冷陰極計的放電顏色來區(qū)分氣體成分。利用光的顏色(波長)根據(jù)氣體成分而不同的事實來測量成分。在 SC-10 的光譜模式屏幕上也可以看到氣體成分的波長。

      由于氣體成分測量單元設(shè)置在大氣壓側(cè),因此不會被真空中的氣體污染,可以進行不受污垢影響的測量。此外,冷陰極規(guī)沒有燈絲,因此可用于堅固耐用的應(yīng)用。

      發(fā)光氬.png 發(fā)光氮.png 發(fā)光氧.png 發(fā)光氦.png 夜光水汽.png


      智能真空計SC-10操作使用

      由于智能真空計可以測量殘余氣體的成分,因此可以快速了解真空裝置的良好狀況,例如排氣中途的泄漏和水蒸氣脫氣等。下兩圖是同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù),但圖一為正常排氣,以水蒸氣為主要成分,確定總壓真空度,而圖二中,氮氣為泄漏所致??梢钥闯觯瑥拈_始下降排氣約 5 分鐘后停止,如果繼續(xù)排氣,則在約 10 分鐘后氮氣量變得比水蒸氣多,總壓力真空停止。通過使用智能真空計,您可以快速找出僅通過監(jiān)測全壓真空度無法理解的排氣異常及其原因。

      圖 1 縮小的 .png
      圖1


      圖 2 縮小的 .png
      圖 2


      您不僅可以使用智能真空計找到泄漏點,還可以噴灑氦氣或氬氣來查找泄漏點。圖 3 顯示了智能真空計在泄漏點噴氬時的數(shù)據(jù),但可以看出,由于氬氣增加和氮氣減少,此處存在泄漏。停止泄漏后,如圖4所示,氮氣和氧氣減少,水蒸氣成為主要成分,成為典型真空裝置的殘余氣體成分。

      圖 3 收縮.png
      圖 3


      圖 4 縮小的 .png
      圖 4

      只需打開它并將其連接到您的PC,無需其他操作。SC-10內(nèi)置的全量程真空計測量從大氣壓到超高真空的總壓力,當(dāng)總壓力達到約50Pa時,自動開始?xì)埩魵怏w成分的測量(分壓測量)。
      不用擔(dān)心,當(dāng)您恢復(fù)到大氣壓時,氣體成分測量會自動關(guān)閉。

      圖 5 縮小的 .png






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