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日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SP1

訪問次數(shù):1319

更新日期:2025-05-02

簡要描述:

日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SP1
傳感器單元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼規(guī)型測量單元。
傳感器單元采用觸針和電路部分一體化的結(jié)構(gòu)(觸針可更換),是適合降低成本和節(jié)省空間的真空計。

日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SP1

日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SP1

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傳感器單元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼規(guī)型測量單元。

傳感器單元采用觸針和電路部分一體化的結(jié)構(gòu)(觸針可更換),是適合降低成本和節(jié)省空間的真空計。

特征

  • 傳感器規(guī)格:不需要壓力指示器時、降低真空計成本、節(jié)省控制面板周圍的空間、節(jié)省布線等。

  • 輕松更換觸控筆

  • 燈絲材料使用耐腐蝕鉑。

  • 您一直使用的觸控筆(SP1:WP-01、02、03、16)可以原樣使用。

  • 可以輸出兩個設(shè)定點(diǎn)

  • SP1:壓力為0~5V輸出(非線性輸出)

  • 電源電壓:可使用DC24V輸入

用途

  • 用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制

  • 用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制

  • 用于在線型和單晶片型等具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的工藝控制

日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SP1

規(guī)格

類型傳感器單元
模型SP1
自適應(yīng)探頭WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

測量精度


±15%(51Pa 至 760Pa)
±30%(10Pa 至 1000Pa)
±50%(0.4Pa 至 3000Pa)
工作溫度限制10 至 40°C
采樣時間50ms 5次移動平均處理

測量值輸出


非線性輸出:DC0-5V (Max.10V)
(更新時間) 50 毫秒
(分辨率) 10mV
設(shè)定點(diǎn) 1/2 調(diào)整的輸出非線性輸出:DC 0-5V (Max.10V)
控制輸出信號集電極開路,負(fù)邏輯
錯誤信號
設(shè)定點(diǎn) 1/2
LED顯示屏功率、誤差、設(shè)定值 1/2
電源電壓DC24V±2V, 90mA (Max.)
輸入/輸出連接器D-sub-15P(M2.6螺絲)
身體質(zhì)量190g(不含觸控筆)

配件

輸入/輸出連接器 1套
快速手冊 1 份


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