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半導(dǎo)體晶體非接觸式測厚儀

訪問次數(shù):1461

更新日期:2025-05-02

簡要描述:

日本sasaki koki半導(dǎo)體晶體非接觸式測厚儀OZUMA22
OZUMA 更新了用于半導(dǎo)體晶片(Si 硅晶片、GaAs、砷化鎵 Ga)、砷(As)、玻璃、金屬等的高精度非接觸式厚度測量裝置(非接觸式厚度測量裝置) . 非接觸式測厚儀OZUMA22用于控制半導(dǎo)體晶片(Si硅晶片、GaAs、鎵(Ga)砷(As))在背面拋光過程中,或在每個制造過程中的厚度(厚度)??捎糜冢ê穸龋┛刂频姆墙佑|式測量。

半導(dǎo)體晶體非接觸式測厚儀
類型數(shù)字式測量范圍1

日本sasaki koki半導(dǎo)體晶體非接觸式測厚儀OZUMA22

<用途>

 

半導(dǎo)體(各種材料)的晶片硅Si.GaAs砷化鎵等,玻璃,金屬,化合物等的高精度非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)

 

<功能>

 

1. 1??梢酝ㄟ^空氣背壓法進(jìn)行非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量),并且不會造成刮擦和污染等損壞
??梢暂p松進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量),而無需依賴諸如薄膜和彩色光澤之類的材料
。潮濕時可以進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
。即使鏡面透明或半透明,也可以毫無問題地進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
。由于使用上下測量噴嘴進(jìn)行測量,因此
   可以精確地測量“厚度”,而不受測量對象“打滑”引起的提升的影響。
  (也可以選擇“滑行”測量(* 1))
6。由于操作簡便,因此可以非常輕松地進(jìn)行測量和校準(zhǔn)(* 2)。

<測量原理>

精確控制上下測量噴嘴的背壓,對噴嘴進(jìn)行定位,使噴嘴和被測物體之間的間隙保持恒定,并使用預(yù)先用基準(zhǔn)量規(guī)校準(zhǔn)的值進(jìn)行比較計算處理。對被測物進(jìn)行測量操作,可以精確計算出厚度。

日本sasaki koki半導(dǎo)體晶體非接觸式測厚儀OZUMA22

<性能>

  分辨率0.1μm
  重復(fù)精度10次重復(fù)測量時的標(biāo)準(zhǔn)偏差(1σ)0.3μm以下
  z大測量范圍 10mm(* 3)
  供應(yīng)能源電源AC100V 50 / 60Hz 3A
            清潔空氣0.4MPa 20NL /分鐘(* 4)

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