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哈司特鎳合金壓力傳送器 壓力傳感器

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更新日期:2025-05-02

簡(jiǎn)要描述:

日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列
這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

哈司特鎳合金壓力傳送器 壓力傳感器
類型數(shù)字壓力表

日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列

半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng),形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

 

  • 高耐腐蝕性
    對(duì)應(yīng)HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體,氣體接觸部分采用遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®,并進(jìn)行了電解研磨處理,充分發(fā)揮了其出色的耐腐蝕性能力。
  • 高精度、高可靠性
    直線性、滯后性、重復(fù)精度的影響造成和優(yōu)擬合線的偏差為±0.25%,具備高精度和高可靠性。
  • 測(cè)定范圍寬
    表壓的壓力范圍從0~172.4KPA(1.76KGf/cm2)到20,684KPa(210KGf/cm2),壓的壓力范圍為0~2,586torr。
  • 使用壽命長(zhǎng)
    各測(cè)量范圍都通過了100萬次的循環(huán)耐久測(cè)試。
  • 輸出
    輸出可以選擇4~20mA或0~5V,可以連接各種數(shù)字式面板儀表和可編程邏輯控制器。

日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列

規(guī)格

 

型號(hào) 表壓※
PSI25G50G100G200G500G3000G15A25A50A
壓力范圍KPa0~172.40~344.70~689.50~1,378.90~3,447.30~20,6840~103.40~172.40~344.7
kgf/cm20~1.760~3.520~7.030~14.060~35.160~210.9---
torr------0~7760~1,2930~2,586
精度(% 全量程)±0.5%±0.25%±0.5%

 

※可選項(xiàng):表壓類型的輸出基準(zhǔn)可以為真空(-100KPa)。(訂購(gòu)時(shí)需要指ding)

 

過載壓力全量程×2
保存溫度范圍-40℃ ~ 85℃ (未通電)
溫度補(bǔ)償范圍0℃ ~ 70℃
溫度漂移±0.05% FS/℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec
氣體(液體)接觸部分哈司特鎳合金®
連接零件1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它

 

型號(hào)604605
激勵(lì)電源電壓DC 12~26VDC 12~26V
信號(hào)輸出4~20mA0~5V
跨度16mA±0.16mA5V±0.5V
偏移量4mA±0.4mA0V±0.1V

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