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valcom傳感器在半導(dǎo)體和電子相關(guān)應(yīng)用示例

  • 發(fā)布日期:2023-03-22      瀏覽次數(shù):1010
    • valcom傳感器在半導(dǎo)體和電子相關(guān)應(yīng)用示例

      管理各種壓力(供氣/排氣、大氣壓回流、泄漏、清潔)、真空壓力和各種成型載荷(表面、拋光、裝配)。

      各種設(shè)備的壓力監(jiān)控(例如蝕刻/CVD等)

      各種設(shè)備的壓力監(jiān)控(例如蝕刻/CVD等)
      • 1供氣壓力監(jiān)測

      • 2確認(rèn)燃?xì)饷姘骞艿佬孤?/p>

      • 3確認(rèn)真空到達(dá)腔室

      • 4確認(rèn)腔室內(nèi)恢復(fù)到大氣壓

      • 5檢查渦輪泵切換的真空壓力

      • 6廢氣處理設(shè)備壓力監(jiān)測

      壓力傳感器

      • VSST(SF/RR/WT/WF)

      • HS1/HV1

      • VSHS/VSHT

      • VCCP

      指示器

      • 繽彩 F3 (過程輸入)

      • VSM3B

      • VMM7(進(jìn)程輸入)

      • VMM6(進(jìn)程輸入)

      純水壓力監(jiān)測

      純水壓力監(jiān)測

      壓力傳感器

      • VESV/VESI

      • 維西姆□□A

      • VPRF (過程輸出)

      指示器

      • 繽彩 F8 (過程輸入)

      • VSM3B

      • VMM7(進(jìn)程輸入)

      • VMM6(進(jìn)程輸入)

      半導(dǎo)體前端工藝拋光期間的負(fù)載控制

      半導(dǎo)體前端工藝拋光期間的負(fù)載控制

      負(fù)荷

      • VLS

      • VLSS-C

      指示器

      • 華彩F3(應(yīng)變片輸入)

      • VGM

      • VGM2A/B

      后處理成型期間的負(fù)載監(jiān)控

      后處理成型期間的負(fù)載監(jiān)控

      負(fù)荷

      • VLC-G811

      • VLC-G510A

      • VU93

      指示器

      • 華彩F3(應(yīng)變片輸入)

      • VGM

      • VGM2A/B

      • VGM4

      各種圓盤表面拋光期間的負(fù)載控制

      各種圓盤表面拋光期間的負(fù)載控制

      負(fù)荷

      • VLS

      • VLSS-C

      指示器

      • 華彩F3(應(yīng)變片輸入)

      • VGM

      • VGM2A/B

      各種電子元件的壓力負(fù)載監(jiān)控

      各種電子元件的壓力負(fù)載監(jiān)控

      負(fù)荷

      • VLC-G811

      • VLC-G510A

      • VU93

      指示器

      • VLGM4

      • VGM

      • VMM7 (應(yīng)變片輸入)

      • VMM6 (應(yīng)變片輸入)



    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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