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測量殘留氣體成分的智能真空計

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更新日期:2024-03-19

簡要描述:

日本vista用于測量殘留氣體成分的智能真空計SC-10
用于測量殘留氣體成分的真空計用于真空設備的健康檢查!

測量殘留氣體成分的智能真空計
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日本vista用于測量殘留氣體成分的智能真空計SC-10

用于測量殘留氣體成分的真空計用于真空設備的健康檢查!?

?通過監(jiān)視殘留氣體成分,可以監(jiān)視真空裝置的健康狀況,并可以立即發(fā)現(xiàn)異常。
?用此一臺可以測量真空度(總壓力)和氣體成分(分壓)。


SC-10智能真空計是我們開發(fā)的一種全新的自動真空計,可以測量殘留氣體成分和總壓真空。
總壓力真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空,當總壓力達到約50Pa時,氣體成分的分壓會自動啟動,并且可以測量約10-5Pa至10-6Pa ...
可以在粗糙的壓力范圍內測量氣體成分并檢查泄漏,這是常規(guī)氣體分析儀無法做到的。


由于智能真空計可以測量殘留氣體的成分,因此可以快速了解真空設備的聲音狀況,例如排氣裝置中的水蒸氣泄漏和脫氣。下兩個圖顯示了同一設備的不同排氣數(shù)據,但在圖1中顯示了正常排氣,其中水蒸氣是主要成分,并且確定了總壓力真空,而在圖2中,氮氣是由于泄漏造成的??梢钥吹剑瑥南陆档呐艢忾_始大約5分鐘后,排氣停止了,如果繼續(xù)排氣,則大約10分鐘后,氮含量變得比水蒸氣大,并且總氮含量下降。壓力真空停止。通過使用智能真空計,您可以快速發(fā)現(xiàn)排氣異常及其原因,而僅通過監(jiān)視總壓力真空是無法理解的。

使用智能真空計不僅可以發(fā)現(xiàn)泄漏,還可以噴射氦氣或氬氣以找到泄漏的位置。圖3顯示了在泄漏點上噴射氬氣時的智能真空計的數(shù)據,但是可以看到,由于氬氣的增加和氮氣的減少,這里存在泄漏。在停止泄漏之后,如圖4所示,氮氣和氧氣減少,水蒸氣成為主要成分,并成為典型真空裝置的殘留氣體成分。

日本vista用于測量殘留氣體成分的智能真空計SC-10

測定原理

SC-10通過測量總壓力的冷陰極壓力表的放電顏色來區(qū)分氣體成分。通過利用光的顏色(波長)根據氣體成分而不同的事實來測量該成分。也可以在SC-10的光譜模式屏幕上查看氣體成分的波長。
由于氣體成分測定部設置在大氣壓側,因此不會被真空中的氣體污染,因此能夠不受污物的影響而進行測定。此外,冷陰極規(guī)沒有燈絲,因此可用于堅韌耐用的應用。


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