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用于導(dǎo)電薄膜制造的濺射設(shè)備-臺(tái)式涂布機(jī)

  • 發(fā)布日期:2021-05-27      瀏覽次數(shù):1127
    •  用于導(dǎo)電薄膜制造的濺射設(shè)備-臺(tái)式涂布機(jī)

       

      特征

      • 直流濺射類別中系列中小的超緊湊機(jī)型
      • 小型濺射裝置,可以輕松地制造電極薄膜
      • 標(biāo)配間歇濺射功能
      • 使用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松更改TS之間的距離。

      應(yīng)用/結(jié)果示例

      • 各種設(shè)備的電極膜附件
      • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用

      基本規(guī)格

      陰極φ2英寸/平板型電極
      濺射靶包含金靶
      氣體導(dǎo)入機(jī)制針閥
      間歇功能標(biāo)配
      真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動(dòng)泄漏)
      箱體尺寸內(nèi)徑φ90mmx D90mm(SUS制)
      樣品交換方法前門開合式
      尺寸(寬/深/高)主體:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm
      重量身體:10公斤RP:9公斤

       

      SC-701MkⅡ進(jìn)階

      products_a10s.jpg高規(guī)格緊湊型鍍膜機(jī),適用于各種金屬,例如鎳,鉻,鎢,鈦,鋁
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      SC-701AT

      SC-701AT只需設(shè)置樣本并等待。全自動(dòng)濺射,膜厚可調(diào)。
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      SC-701HMCⅡ

      SC-701HMCⅡ磁控管類型適用于W / Ti / Cr等薄膜生產(chǎn)。微電腦控制/自動(dòng)快門標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
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      SC-701MkⅡ

      SC-701MkⅡ該系列中小的濺射,使電極薄膜的制造變得容易
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      SC-701MC

      SC-701MC使用對(duì)樣品友好的磁控管陰極。膜厚可控的全自動(dòng)模型。
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      SC-708系列

      SC-708系列非常適合在大型基板上進(jìn)行薄膜制造以及PDMS的表面處理
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