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日本理研計(jì)器開(kāi)爾文探針FAC-2

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更新日期:2024-03-26

簡(jiǎn)要描述:

日本理研計(jì)器開(kāi)爾文探針FAC-2
專用于光刻樣品的開(kāi)爾文探針
輕松設(shè)置樣品,無(wú)需微調(diào)電極和樣品之間的距離

日本理研計(jì)器開(kāi)爾文探針FAC-2
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日本理研計(jì)器開(kāi)爾文探針FAC-2

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特征

專用于光刻樣品的開(kāi)爾文探針

輕松設(shè)置樣品,無(wú)需微調(diào)電極和樣品之間的距離

可在大氣中測(cè)量半導(dǎo)體樣品的費(fèi)米能級(jí)

由于測(cè)量時(shí)間短,因此非常適合測(cè)量隨時(shí)間變化的情況,例如成膜或表面處理后金屬表面的變化。

目的

有機(jī)電子材料的費(fèi)米能級(jí)測(cè)量

金屬和導(dǎo)電薄膜功函數(shù)的測(cè)量

日本理研計(jì)器開(kāi)爾文探針FAC-2

產(chǎn)品分類

開(kāi)爾文探針

模型

FAC-2

測(cè)量原理

開(kāi)爾文法

測(cè)量零件尺寸

Φ10mm

測(cè)量能量范圍

3.4 至 6.2eV(使用功函數(shù)為 5.0eV 的參考樣品進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí))

測(cè)量時(shí)間

10 秒或更短(如果樣品是金屬)

重復(fù)性(標(biāo)準(zhǔn)差)

功函數(shù)0.02eV(樣品:金板)

溫濕度范圍

溫度范圍15-35℃,濕度20-60%RH

電源

AC100V,50/60Hz 5A(最大)

外形尺寸

約235(寬)×330毫米(高)×408(深)毫米

重量

約12公斤


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