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lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L 便攜式超聲波流量計(jì)

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更新日期:2024-03-24

簡(jiǎn)要描述:

lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L
高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器,具有 ±1% SP 保證。

lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L 便攜式超聲波流量計(jì)
品牌其他品牌類型超聲波
測(cè)量范圍1m3/h

lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L

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高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器,具有 ±1% SP 保證。

LINTEC的環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)高精度的流量測(cè)量。 它可抑制由于傳感器受熱而導(dǎo)致的老化劣化,甚至可以控制流量,即使是臭氧等高度可降解的氣體。

作為選項(xiàng),高性能、數(shù)字質(zhì)量流量控制器可以處理液化氣、微流量 F.S.、寬范圍、表面間距和接頭名稱。


長(zhǎng)處

  • 準(zhǔn)確度±1%SP

  • 工作溫度 5~50°C

  • 金屬密封件

  • 清潔(保證顆粒)

  • 環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器

  • RS-485 通信

選擇

  • 微流 F.S.

  • 兼容液化氣

使用示例

半導(dǎo)體制造預(yù)處理

由于CVD(化學(xué)氣相沉積)ALD沉積設(shè)備和蝕刻設(shè)備中使用高活性氣體,因此具有高耐腐蝕性金屬密封的氣體質(zhì)量流量控制器至關(guān)重要。

此外,前驅(qū)體在常溫常壓下含有大量液化氣體,因此具有耐熱性且不易液化的閥門結(jié)構(gòu)很重要。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可從液化氣選項(xiàng)中選擇,最高工作溫度為50°C(可選55°C)。

分析器

分析儀可能需要控制分鐘流速,但一般質(zhì)量流量控制器的最小F.S.為5 SCCM,無法控制分鐘流速。 MC-3000L高精度質(zhì)量流量控制器可選配F.S.1SCCM或更低尺寸。 詳情請(qǐng)聯(lián)絡(luò)我們。

此外,高精度質(zhì)量流量控制器MC-3000L還標(biāo)配低死體積隔膜閥。

lintec高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器MC-3000L

規(guī)格


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍低標(biāo)準(zhǔn)最高 F.S.密封
5~50°C50kPa300kPa±1%自保2~100%F.S.5SCCM400SLM






* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過選項(xiàng)進(jìn)行更改。



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