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日本arios小型濺射系統(tǒng) SS-DC?RF301 離子濺射儀

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更新日期:2024-03-24

簡(jiǎn)要描述:

日本arios小型濺射系統(tǒng) SS-DC?RF301
這是一種使用濺射(通??s寫為濺射)的薄膜沉積裝置。 濺射成膜的特點(diǎn)是飛入基板的顆粒具有相對(duì)較大的能量,因此可以產(chǎn)生具有高附著力的強(qiáng)膜。

日本arios小型濺射系統(tǒng) SS-DC?RF301 離子濺射儀
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日本arios小型濺射系統(tǒng) SS-DC?RF301


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總結(jié)

這是一種使用濺射(通常縮寫為濺射)的薄膜沉積裝置。 濺射成膜的特點(diǎn)是飛入基板的顆粒具有相對(duì)較大的能量,因此可以產(chǎn)生具有高附著力的強(qiáng)膜。 另一方面,由于等離子體是用氬氣和其他物質(zhì)制成的,并且這作用于基材,因此基板表面的粗糙度可能是一個(gè)問題。
該裝置是一種小型濺射裝置,配備一個(gè)2“磁控管陰極和一個(gè)板加熱機(jī)構(gòu)。 所有功能都封裝在JIS機(jī)架尺寸中,以追求節(jié)省空間和易用性。 我們還擁有與 UHV 兼容的飛濺設(shè)備,并配有交換室。

特征

  1. 雖然體積小,但具有與成熟的濺射設(shè)備相同的規(guī)格和性能。

  2. 憑借其緊湊、輕巧和簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì),它可以安裝在辦公桌的一半左右的空間內(nèi)。

  3. 電路板上下機(jī)制允許您任意設(shè)置目標(biāo)和電路板之間的距離。

  4. 基板加熱可以在高溫下進(jìn)行。

  5. 標(biāo)準(zhǔn)冷水機(jī)組僅允許使用電力和燃?xì)膺\(yùn)行。

  6. 法蘭可互換,可以重新組合為向上濺射和向下濺射。

  7. 濺射電源可選擇直流或射頻。

日本arios小型濺射系統(tǒng) SS-DC?RF301

主機(jī)規(guī)格

極限壓力3×10-4 Pa以下
泄漏量1×10-8 Pa?m3/秒以下(不包括O型圈傳輸)
排氣系統(tǒng)TMP+ 隔膜泵
真空計(jì)全量程真空計(jì)(冷陰極+皮拉尼真空計(jì))
董事會(huì)階段2英寸兼容載物臺(tái)
基板加熱溫度最高 500°C(可選最高 800°C 支持)
板垂直機(jī)構(gòu)行程 100mm 手動(dòng)操作O型圈軸封
陰極磁控管陰極(詳情如下)
供氣系統(tǒng)MFC1 (Ar) 1/4 世偉洛克 TM 或 VCRTM 連接
主體支架在腳輪調(diào)節(jié)器上
尺寸和重量W540×D600 H1280(不包括連接器等),重量約100kg
效用AC200V 單相 20A
工藝氣體 : 氬氣(1/4 世偉洛克 TM 或 1/4 VCR TM)
氮?dú)猓ㄓ糜诖祾撸?.05~0.1 MPa(1/4 世偉洛克 TM 或 1/4 VCR TM)

陰極

目標(biāo)大小2英寸(參考照片))
目標(biāo)材料各種機(jī)械卡盤類型或粘接方式
冷卻方式水冷式(配備冷水機(jī)組)
權(quán)力直流輸出 500W 或射頻輸出 300W


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