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yutaka高壓標(biāo)準半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備 數(shù)顯壓力表

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更新日期:2024-03-23

簡要描述:

yutaka高壓標(biāo)準半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備L20系列
L20系列專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計,基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭,是一種具有優(yōu)異外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。 此外,還提供多種選項來處理各種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。

yutaka高壓標(biāo)準半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備 數(shù)顯壓力表
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yutaka高壓標(biāo)準半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備L20系列

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L20系列(高壓標(biāo)準流量型)


  • 功能

  • 高壓
    焊接金屬墊片配件

  • 調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)

  • 針型

  • 兼容氣體

  • 7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體,有毒氣體

    除外

  • 標(biāo)準流量

  • ~60噸/分鐘

yutaka高壓標(biāo)準半導(dǎo)體制造用壓力控制設(shè)備L20系列

  • 特點

    規(guī)范

    入口壓力14.8MPa以下(最大19.6MPa)
    調(diào)節(jié)壓力最大0.99MPa(量程規(guī)格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa
    原始壓力的波動進口壓力:每0.1MPa,調(diào)節(jié)壓力變化0.00021MPa
    耐壓壓力22.2MPa (入口側(cè))
    簡歷值0.09
    工作溫度-10~+40°C
    外部泄漏1×10-11Pa?m3/s?He (真空方式)
    內(nèi)部容積4.67厘米(不包括3個壓力表和配件)
    質(zhì)量約1.29公斤
    安裝方式使用前面板安裝螺母或后螺釘進行安裝(見外觀)
    • L20系列專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計,基本結(jié)構(gòu)為外部金屬密封和焊接接頭,是一種具有優(yōu)異外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。 此外,還提供多種選項來處理各種高純度氣體,使其成為氣瓶柜的理想選擇。


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