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日本thermocera實(shí)驗(yàn)用多氣氛爐TE系列

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更新日期:2024-03-23

簡(jiǎn)要描述:

日本thermocera實(shí)驗(yàn)用多氣氛爐TE系列
這是一款臺(tái)式超高溫多氣氛實(shí)驗(yàn)爐,可處理氮?dú)?、氧氣、氦氣、氬氣、氫氣等各種氣氛。

日本thermocera實(shí)驗(yàn)用多氣氛爐TE系列
品牌其他品牌燃料電加熱鍋爐
結(jié)構(gòu)形式立式出口壓力高壓

日本thermocera實(shí)驗(yàn)用多氣氛爐TE系列

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這是一款臺(tái)式超高溫多氣氛實(shí)驗(yàn)爐,可處理氮?dú)?、氧氣、氦氣、氬氣、氫氣等各種氣氛。

C/C復(fù)合加熱器

最高2000°C

碳化硅3涂層加熱器

最高1600°C

TiC3涂層加熱器

最高2100°C

TE系列超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)爐“熱邊"電爐從抽真空、吹掃到排氣的操作是PLC半自動(dòng)式的。 沒(méi)有手動(dòng)打開(kāi)和關(guān)閉閥門等復(fù)雜操作,并且可以通過(guò)觸摸面板進(jìn)行集中管理。臺(tái)式緊湊,您可以有效利用實(shí)驗(yàn)室的有限空間。

特征

三種類型的爐子加熱器/絕緣材料擴(kuò)大了碳爐的應(yīng)用范圍。

  • C/C復(fù)合加熱器

  • SiC3(碳化硅)涂層加熱器

  • TiC3(碳化鈦)涂層加熱器

多功能功能集成在緊湊的機(jī)身中

  • 節(jié)省空間:889(闊)x 503(深)x 629(高)mm

  • 圓柱形加熱器(用于坩堝)、平面加熱器(用于晶圓燒制)

  • 聯(lián)鎖(冷卻水、腔室表面溫度/加熱器過(guò)溫、真空度、腔室打開(kāi)/關(guān)閉)

  • PLC半自動(dòng)操作:(抽真空/吹掃x 3循環(huán)排氣)

  • 觀察視口(可選)

日本thermocera實(shí)驗(yàn)用多氣氛爐TE系列

原理圖規(guī)格

 C/C復(fù)合線材碳化硅3涂層石墨絲TiC3涂層石墨絲
最高工作溫度最高2000°C最高1600°C最高2100°C
絕緣石墨、氧化鋁、鎢、鉬、氧化鋯等(*因爐內(nèi)結(jié)構(gòu)而異)
真空室SUS304水冷夾套結(jié)構(gòu),頂部加載,線性驅(qū)動(dòng)可打開(kāi)
使用氛圍在真空或惰性氣體(Ar、N2)中在真空中,惰性氣體(Ar,N2),還原氣體(H2等)
有效加熱范圍Φ1“~ Φ3"(用于晶圓片進(jìn)料燒制的平面加熱器),或?Φ70 x 深度最大50(H)mm(圓柱形加熱器)
極限真空度1x10-2 帕斯卡(* 用于空爐)
真空泵干式渦旋泵(可選:渦輪分子泵)
熱電偶包括C型熱電偶
聯(lián)鎖腔室表面溫度、加熱器超溫、冷卻水滴、腔室開(kāi)閉、真空度
公用設(shè)施和冷卻水加熱器額定值最大 3KVA(* 取決于加熱范圍尺寸),冷卻水 3 升/分鐘 0.4Mpa






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