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日本朝日分光光學(xué)膜厚儀OMD-1000產(chǎn)品介紹

  • 發(fā)布日期:2022-03-02      瀏覽次數(shù):1728
    • 日本朝日分光光學(xué)膜厚儀OMD-1000產(chǎn)品介紹

      什么是 OMD-1000?

      這是一種分光膜厚監(jiān)測(cè)監(jiān)視器,可在氣相沉積過(guò)程中用單色光監(jiān)測(cè)基板上的光量變化。也用于本公司自有的薄膜蒸鍍裝置,作為蒸鍍部件制造商的專有技術(shù),作為膜厚監(jiān)測(cè)裝置完成。

      概述

      全波長(zhǎng)范圍

      以往機(jī)型的波長(zhǎng)選擇是濾光片型,但新產(chǎn)品搭載了本公司業(yè)績(jī)良好的分光器,現(xiàn)在可以選擇任意波長(zhǎng)。
      膜厚變化信號(hào)由電壓輸出轉(zhuǎn)為與個(gè)人電腦兼容的數(shù)字輸出,控制機(jī)構(gòu)由手動(dòng)操作轉(zhuǎn)為個(gè)人電腦指令控制。此外,通過(guò)I/F直接與個(gè)人電腦連接,可以控制膜厚計(jì)主體,是一個(gè)非常緊湊的系統(tǒng),不需要像其他制造商那樣的控制器。

      特征

      • 帶光譜儀的緊湊型設(shè)計(jì)

      • 通過(guò)提高抗噪性實(shí)現(xiàn)高度可靠的膜厚監(jiān)測(cè)(靜電放電測(cè)試耐壓±5 kV)

      • 可通過(guò)來(lái)自 PC 的命令進(jìn)行自動(dòng)控制

      • 通過(guò)將控制器集成到接收器主體中實(shí)現(xiàn)高性價(jià)比

      產(chǎn)品規(guī)格

      模型OMD-1000
      光譜儀類型Czerny Turner 型單色
      波長(zhǎng)范圍保證范圍:380 至 900 nm 可操作
      范圍:350 至 1100 nm
      波長(zhǎng)分辨率狹縫 0.5mm:4.2nm [546nm]
      狹縫 1.0mm:8.3nm [546nm]
      波長(zhǎng)精度± 1.0 納米
      小波長(zhǎng)饋電0.1nm
      外部控制RS232C
      外部輸出端子DC0-2V(滿量程)
      采樣間隔100ms 或更多
      靜電放電試驗(yàn)?zāi)蛪?/span>±5kV(實(shí)際8kV)
      光源12V100W鹵素?zé)?/span>
      光強(qiáng)度穩(wěn)定性±0.1%/小時(shí)以下
      輸入電壓AC100V 50 / 60Hz
      允許輸入電壓AC85-132V
      視在功率340VA以下
      使用環(huán)境溫度10-35℃
      濕度20-80%
      * 請(qǐng)注意,產(chǎn)品規(guī)格和外觀如有更改,恕不另行通知。



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