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用于半導(dǎo)體透明材料的非接觸式厚度測(cè)量?jī)xOZUMA22

  • 發(fā)布日期:2021-04-23      瀏覽次數(shù):1186
    • 用于半導(dǎo)體透明材料的非接觸式厚度測(cè)量?jī)xOZUMA22

      <用途>

      半導(dǎo)體(各種材料)的晶片硅Si.GaAs砷化鎵等,玻璃,金屬,化合物等的高精度非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)

      <功能>

      1. 1。可以通過(guò)空氣背壓法進(jìn)行非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量),并且不會(huì)造成刮擦和污染等損壞
      。可以輕松進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量),而無(wú)需依賴諸如薄膜和彩色光澤之類的材料
      。潮濕時(shí)可以進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
      即使鏡面透明或半透明,也可以毫無(wú)問(wèn)題地進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
      。由于使用上下測(cè)量噴嘴進(jìn)行測(cè)量,因此
         可以精que地測(cè)量“厚度”,不受測(cè)量對(duì)象“打滑”引起的提升的影響。
       ?。ㄒ部梢赃x擇“滑行”測(cè)量(* 1))
      6。由于操作簡(jiǎn)便,因此可以非常輕松地進(jìn)行測(cè)量和校準(zhǔn)(* 2)。

      <測(cè)量原理>

      精que控制上下測(cè)量噴嘴的背壓,對(duì)噴嘴進(jìn)行定位,使噴嘴和被測(cè)物體之間的間隙保持恒定,并使用預(yù)先用基準(zhǔn)量規(guī)校準(zhǔn)的值進(jìn)行比較計(jì)算處理??梢詫?duì)被測(cè)物進(jìn)行測(cè)量操作,可以精que地計(jì)算出厚度。

      <性能>

        分辨率0.1μm
        重復(fù)精度10次重復(fù)測(cè)量時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差(1σ)0.3μm以下
        。測(cè)量范圍。10mm(* 3)
        供應(yīng)能源電源AC100V 50 / 60Hz 3A
                  清潔空氣0.4MPa 20NL /分鐘(* 4)

       

       

    聯(lián)系方式
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