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產(chǎn)品展示
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日本NGK半導(dǎo)體行業(yè)用陶瓷加熱器產(chǎn)品介紹

  • 發(fā)布日期:2025-05-12      瀏覽次數(shù):110
    • Aln加熱器

      它使用氮化鋁(ALN),具有出色的導(dǎo)熱率,并通過將其與電阻加熱元件一起燒結(jié),可以達(dá)到的熱均勻性,并且顯著降低了金屬污染的雜質(zhì)。

      特征

      高熱均勻性和廣泛的溫度支持

      它使用ALN陶瓷,具有出色的導(dǎo)熱率,可實(shí)現(xiàn)高溫均勻性。

      它也可以在溫度范圍(最高800°C)的范圍內(nèi)使用。


      袖珍的

      除了電阻加熱元件外,散裝的RF電極還可以整體燒結(jié)到陶瓷中。

      您也可以將陶瓷軸直接粘合到陶瓷板上。


      耐腐蝕性

      它還在鹵素氣體和氧化氣氛中表現(xiàn)出的耐用性。

      與晶圓吸附兼容

      陶瓷板中的RF電極可用作靜電Chuck電極,用于晶片吸附。

      功能

      晶圓溫度分析
      晶圓溫度分析(φ300加熱器)
      示例:600°C溫度范圍<±0.1%

      規(guī)格

      尺寸與200mm,300mm和450mm晶片兼容
      電源100-200V x 15-50a
      電極材料將Ni Rod(電纜)連接到端子(低接頭,螺釘固定)
      加熱器材料Aln

      Aln的材料特性

      [典型價值]


      氮化鋁
      HA-12HA-37/38HA-50/51
      純度[%]959999
      密度[g/cc]3.33.33.3
      音量電阻率[ωCM](RT)> 1E+151E+8?+13> 1E+15
      導(dǎo)熱率[W/MK](RT)17010080
      熱擴(kuò)展系統(tǒng)的數(shù)量(RT)5.7(1000℃)5.6(1000℃)5.6(1000℃)
      力量[MPA](RT)> 300> 300> 250
      年輕的速度[GPA](RT)300300300
      介電常數(shù)(13.56MHz,RT)8.68.88.6

      推薦產(chǎn)品

      靜電Chuck

      它表現(xiàn)出高強(qiáng)度,高熱電導(dǎo)率和高熱沖擊性。 Nippon Gaishi的音量阻力控制技術(shù)可以容納廣泛的溫度范圍。

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      各個部分

      我們使用先進(jìn)的制造技術(shù)提供各種零件形狀,包括氮化鋁和氧化鋁陶瓷。

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    聯(lián)系方式
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