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tankenseal φ450mm兼容碳精吸盤介紹

  • 發(fā)布日期:2025-05-09      瀏覽次數(shù):131
    • φ450mm兼容

      碳精密吸力機(jī)

      碳精密吸力機(jī)注冊

       

      插圖300mm耐熱精度吸力杯

       


       

      所有碳吸附杯的概述

      ●該真空吸附杯由碳材料組成,將多孔碳吸附劑與由高強度碳制成的結(jié)構(gòu)組合在一起。
      ●硅晶片,bg膠帶,模具固定膜和迪士膠帶通過多孔材料吸附。
      ●平均孔徑在5μm處良好,并且吸附標(biāo)記不轉(zhuǎn)移。
      ●中等節(jié)氣門效應(yīng)允許部分吸附。
      ●即使在惡劣的溫度環(huán)境下,它也不會變形或破裂。
      ●由于它具有出色的電氣性能,因此有效防止靜電。

      這是一個多孔的吸附杯,它充分利用了這些碳的特征。

       


       

      所有碳吸杯的功能

      ●晶圓預(yù)防

      碳是一個很棒的指揮。
      因為收費的可能性較小,所以工件被吸附時會扎根。
      它是反對靜電的對策,非常有效,非常適合吸附不喜歡靜電的工件。
      涂層(其他規(guī)格)使您可以將表面電阻調(diào)整為給定值。

      材料多孔碳氧化鋁
      電阻值(μω?M)100> 1x10 122.6 x 10 -2

       

      ●與高溫環(huán)境兼容

      通過制造由碳制成的所有零件材料,我們大程度地提高了碳的優(yōu)秀熱性能。
      耐熱溫度在大氣中為250°C,在惰性氣體中為900°C。
      它具有較高的耐熱性,即使加熱或淬火也不會破裂。
      因為它是由相同材料制成的,所以由于熱膨脹差異而導(dǎo)致的準(zhǔn)確性不太可能發(fā)生,并且尺寸穩(wěn)定性非常好。

       

      ●輕巧減輕了設(shè)備的負(fù)擔(dān)

      多孔碳的低密度為1.2g/cm3。
      與陶瓷吸杯相比,它可以減輕重量約40%。
      通過減輕重量,它不僅可以在設(shè)備設(shè)計中提供更多的自由度,而且
      還通過簡化組件為設(shè)備制造成本提供了更多好處。

      材料多孔碳氧化鋁
      通量密度(g/cm 3)1.23.62.8

       

      所有碳吸杯重量表
      粘合表面尺寸(mm)吸附杯厚度(mm)重量(g)圖像
      φ20012750★精密吸力杯200mm_500
      φ300121580★精密吸力杯300mm_500
      φ450205660★精密吸力杯450mm

       


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