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貴金屬鍍膜涂層用磁控濺射儀MSP-1S的核心優(yōu)勢

  • 發(fā)布日期:2025-02-18      瀏覽次數:298
    • 貴金屬鍍膜涂層用磁控濺射儀MSP-1S的核心優(yōu)勢


      該設備是一種用于涂層珍貴金屬薄膜的設備,用于SEM觀察。這是一種使用貴金屬涂層來防止SEM樣品充電并提高產生二級電子的效率的設備。

      除了使用磁鐵靶電極使用低壓放電外,樣品階段還用于使用浮動方法來減少由電子束流入引起的樣品損傷。它易于操作,只需按一個按鈕,任何人都可以輕松操作它。因為它具有內置的泵,所以它很小且不會占用太多空間。它在桌子的一個角落很好。

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      貴金屬磁控濺射儀 MSP-1S 核心優(yōu)勢

      1. 專為貴金屬鍍膜設計

      • 支持金(Au)、銀(Ag)、鉑(Pt)、鈀(Pd)等貴金屬靶材,膜層純度高(≥99.99%),滿足應用需求。

      • 優(yōu)化的濺射工藝,確保貴金屬膜層均勻性(±3%以內),減少材料浪費,降低使用成本。

      2. 高精度控制

      • 配備高穩(wěn)定性直流/射頻電源,功率調節(jié)精度達0.1W,實現超薄膜層(納米級)的精準控制。

      • 智能真空系統,極限真空度≤5×10?? Pa,確保鍍膜環(huán)境潔凈,避免雜質污染。

      • 基片溫度可控范圍廣(室溫~500℃),適應不同貴金屬成膜需求。

      3. 高效節(jié)能,經濟實用

      • 靶材利用率高達80%以上,顯著降低貴金屬材料損耗。

      • 低功耗設計(<3kW),運行成本僅為傳統設備的60%,適合長期使用。

      • 模塊化結構,維護便捷,關鍵部件可快速更換,減少停機時間。

      4. 多功能應用,靈活適配

      • 支持單層或多層復合鍍膜,滿足復雜工藝需求。

      • 兼容多種基片(硅片、玻璃、陶瓷、聚合物等),適用于半導體、光學、生物傳感器等領域。

      • 可選配離子清洗功能,提升膜層附著力,優(yōu)化鍍膜質量。

      5. 安全可靠,操作簡便

      • 全封閉式濺射腔體,配備多重安全保護(過流、過壓、真空異常報警),確保操作安全。

      • 觸控屏界面,參數設置直觀,支持工藝配方存儲與調用,降低操作難度。

      • 自動化運行,減少人為干預,提高實驗重復性。

      6. 科研與生產雙重價值

      • 為高校、科研院所提供貴金屬薄膜研究平臺,助力新材料開發(fā)與性能優(yōu)化。

      • 支持小批量試生產,幫助企業(yè)快速驗證工藝,縮短產品上市周期。


      應用場景示例

      ? 半導體行業(yè):電極鍍金、引線鍵合層制備
      ? 光學領域:高反射鏡、紅外窗口鍍膜
      ? 生物醫(yī)療:生物傳感器、微電極陣列制造
      ? 新能源:燃料電池催化劑涂層、太陽能電池電極


      MSP-1S消耗品和零件清單

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      MSP-1S的
      AU目標
      [t = 0.1mm]

      MSP-1S的
      PT目標
      [t = 0.1mm]

      MSP-1S的
      AU-PD目標
      [t = 0.1mm]
      AU60%:PD40%

      MSP-20UM的
      PT-PD目標
      [T = 0.1mm]
      PT80%:PD20%

      MSP-1S的
      AG目標
      [T = 0.5mm]

      MSP-1S的玻璃管墊片(2組)

      MSP-1S的玻璃室

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