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專為半導(dǎo)體制造等高精度行業(yè)設(shè)計(jì)的露點(diǎn)儀TK-100

  • 發(fā)布日期:2025-02-16      瀏覽次數(shù):266
    • 專為半導(dǎo)體制造等高精度行業(yè)設(shè)計(jì)的露點(diǎn)儀TK-100

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      TK-100是一款專為半導(dǎo)體制造等高精度行業(yè)設(shè)計(jì)的露點(diǎn)儀,主要用于監(jiān)測(cè)和控制氣體或環(huán)境中的水分含量。以下是TK-100的主要特點(diǎn)、技術(shù)參數(shù)和應(yīng)用場(chǎng)景:

      主要特點(diǎn)

      1. 高精度測(cè)量

        • TK-100采用先進(jìn)的傳感器技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的露點(diǎn)測(cè)量,確保半導(dǎo)體制造過(guò)程中的氣體和環(huán)境濕度符合嚴(yán)格的要求。

      2. 寬測(cè)量范圍

        • 該露點(diǎn)儀具有寬廣的測(cè)量范圍,通常覆蓋從-100°C到+20°C的露點(diǎn),適用于多種半導(dǎo)體制造工藝。

      3. 快速響應(yīng)時(shí)間

        • TK-100具有快速的響應(yīng)時(shí)間,能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)氣體或環(huán)境中的水分變化,確保及時(shí)調(diào)整和控制。

      4. 抗污染能力強(qiáng)

        • 在半導(dǎo)體制造環(huán)境中,可能存在各種化學(xué)污染物。TK-100設(shè)計(jì)有抗污染能力,能夠在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定工作。

      5. 易于集成

        • TK-100支持多種通信協(xié)議,易于與現(xiàn)有的監(jiān)控和控制系統(tǒng)集成,方便用戶進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和分析。

      6. 用戶友好界面

        • 該露點(diǎn)儀配備直觀的用戶界面,操作簡(jiǎn)單,便于用戶進(jìn)行設(shè)置和監(jiān)控。

      技術(shù)參數(shù)

      • 測(cè)量范圍:-100°C to +20°C 露點(diǎn)

      • 精度:±2°C 露點(diǎn)

      • 響應(yīng)時(shí)間:<10秒(達(dá)到90%的最終讀數(shù))

      • 工作溫度:-20°C to +50°C

      • 輸出信號(hào):4-20mA, RS485, Modbus RTU

      • 電源供應(yīng):24VDC

      • 防護(hù)等級(jí):IP65

      應(yīng)用場(chǎng)景

      1. 潔凈室監(jiān)控

        • TK-100用于監(jiān)測(cè)潔凈室中的露點(diǎn),確保環(huán)境濕度符合半導(dǎo)體制造的要求。

      2. 氣體純度檢測(cè)

        • 在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,使用的高純度氣體(如氮?dú)狻鍤猓┬枰獓?yán)格控制水分含量。TK-100用于檢測(cè)這些氣體的露點(diǎn),確保其純度。

      3. 工藝氣體監(jiān)控

        • 在薄膜沉積、蝕刻等關(guān)鍵工藝中,TK-100用于監(jiān)控工藝氣體的露點(diǎn),防止水分影響產(chǎn)品質(zhì)量。

      4. 壓縮空氣系統(tǒng)

        • 壓縮空氣中的水分會(huì)影響設(shè)備性能,TK-100用于監(jiān)測(cè)并保持系統(tǒng)干燥。

      5. 儲(chǔ)存和運(yùn)輸

        • 半導(dǎo)體材料和氣體在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過(guò)程中需要保持干燥,TK-100用于監(jiān)控環(huán)境條件。

      優(yōu)勢(shì)

      • 高可靠性:TK-100設(shè)計(jì)用于長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行,減少維護(hù)需求。

      • 多功能性:適用于多種氣體和環(huán)境條件,具有廣泛的應(yīng)用范圍。

      • 易于維護(hù):模塊化設(shè)計(jì)使得傳感器更換和校準(zhǔn)變得簡(jiǎn)單方便。

      總結(jié)

      TK-100露點(diǎn)儀憑借其高精度、快速響應(yīng)和抗污染能力,在半導(dǎo)體制造設(shè)備中發(fā)揮著重要作用。它能夠有效監(jiān)控和控制氣體和環(huán)境中的水分含量,確保半導(dǎo)體制造過(guò)程的高質(zhì)量和穩(wěn)定性。



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