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水平儀對半導(dǎo)體設(shè)備制造上使用的作用

  • 發(fā)布日期:2025-02-11      瀏覽次數(shù):304
    • 水平儀對半導(dǎo)體設(shè)備制造上使用的作用

      在半導(dǎo)體制造過程中,水平儀是一種重要的測量工具,用于確保設(shè)備的水平度和精度。半導(dǎo)體設(shè)備對水平度的要求高,因為微小的傾斜或不平整都可能影響晶圓加工的質(zhì)量,導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷。以下是關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)備用水平儀的相關(guān)信息:


      1. 水平儀的作用

      • 確保設(shè)備水平:半導(dǎo)體制造設(shè)備(如光刻機、刻蝕機、CVD設(shè)備等)需要在絕對水平的狀態(tài)下運行,以保證工藝精度。

      • 提高產(chǎn)品質(zhì)量:水平度不足可能導(dǎo)致晶圓表面不均勻,影響薄膜沉積、光刻對準(zhǔn)等關(guān)鍵工藝。

      • 減少設(shè)備磨損:設(shè)備在不水平的狀態(tài)下運行會增加機械部件的磨損,縮短設(shè)備壽命。


      2. 半導(dǎo)體設(shè)備對水平儀的要求

      • 高精度:半導(dǎo)體制造對水平度的要求通常在 0.01mm/m 甚至更高。

      • 穩(wěn)定性:水平儀需要長期保持穩(wěn)定,避免因溫度變化或振動導(dǎo)致測量誤差。

      • 抗干擾性:半導(dǎo)體工廠環(huán)境中可能存在振動、電磁干擾等,水平儀需要具備抗干擾能力。

      • 易于校準(zhǔn):水平儀需要能夠快速、準(zhǔn)確地校準(zhǔn),以確保測量結(jié)果的可靠性。


      3. 常用水平儀類型

      在半導(dǎo)體設(shè)備中,常用的水平儀

      電子水平儀

      • 原理:通過電子傳感器(如加速度計)測量水平度,并將結(jié)果顯示在數(shù)字屏幕上。

      • 優(yōu)點:精度高、讀數(shù)直觀、可存儲數(shù)據(jù)。

      • 應(yīng)用:用于高精度設(shè)備的安裝和校準(zhǔn)。

      有線2軸精確數(shù)字水平SELN-001B

      image.png

      這個兩軸數(shù)字水平(有線)是高精度和輕量級水平。與常規(guī)級別相比,它可以以數(shù)字方式顯示,從而使現(xiàn)場調(diào)整非常容易。另外,顯示和級別通過有線連接連接,因此可以從距離進行測量。因為它是輕巧的,所以它也可以在精致的區(qū)域(例如處理晶圓的區(qū)域)進行測量。氣泡出現(xiàn)在監(jiān)視器屏幕上,您可以通過查看氣泡型水平來調(diào)整它們。由于以數(shù)字方式顯示它,因此操作員沒有讀取變化。

      特征

      01X和Y軸的角度精度為±0.001DEG(17.5μ/m)。

      02在垂直間距狹窄的區(qū)域也可以進行水平觀測!

      image.png

      在垂直間距狹窄的區(qū)域也可以進行水平觀測!

      03工人可以通過即時數(shù)字測量判斷來統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)。

      04同時調(diào)整兩個軸可減少調(diào)整工作的工時數(shù)量。

      05通過設(shè)置傳球范圍,即使是初學(xué)者也可以輕松調(diào)整水平!呢

      監(jiān)視詳細信息

       


      規(guī)格

      物品
      內(nèi)容
      傳感器部分線性 - 角度x方向±0.3°方向±0.3 ver
      測量分辨率0.0002DEG
      零點可重復(fù)性精度±0.001度或以下
      響應(yīng)速度50毫秒或更少
      工作溫度-10℃至 +50℃
      主體microcom32位
      A/D部門14位
      測量范圍±0.3度
      A/D分辨率0.000025度
      顯示單元0.0001度
      通過范圍設(shè)定范圍0.0001度
      范圍切換0.01/ 0.001/ 0.0001
      超出顯示超過0.3度
      功能傳感器連接數(shù)1 ch
      顯示部分4.3英寸顏色LCD觸摸面板

      480 x 272點
      電源
      專用AC適配器DC6V/2A

      4個AA電池(1.5V)
      外部尺寸監(jiān)視器W96 x D35 x H145毫米
      傳感器(基于SUS)φ50×H19毫米
      電纜2m
      重量監(jiān)視器392 g
      傳感器70 g
      配件
      4個AAA電池(1.5V)

      專用AC適配器DC6V/2A

      操作說明

      保修單




      水平儀的使用步驟

      1. 準(zhǔn)備工作:清潔設(shè)備底座和水平儀,確保測量面平整。

      2. 初步調(diào)平:使用氣泡水平儀進行初步調(diào)平。

      3. 精確測量:使用電子水平儀或激光水平儀進行高精度測量。

      4. 調(diào)整設(shè)備:根據(jù)水平儀的讀數(shù)調(diào)整設(shè)備底座的調(diào)平螺絲。

      5. 驗證校準(zhǔn):重復(fù)測量,確保水平度達到要求。

      6. 記錄數(shù)據(jù):保存測量結(jié)果,便于后續(xù)維護和檢查。


      水平儀的校準(zhǔn)與維護

      • 定期校準(zhǔn):水平儀需要定期校準(zhǔn),以確保測量精度。

      • 避免振動:在使用和存放過程中,避免水平儀受到劇烈振動。

      • 溫度控制:水平儀對溫度敏感,應(yīng)在恒溫環(huán)境下使用。

      • 清潔保養(yǎng):保持水平儀的清潔,避免灰塵或油污影響測量結(jié)果。


    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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