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電子設(shè)備行業(yè)潔凈室中的分子污染物監(jiān)測

  • 發(fā)布日期:2024-12-24      瀏覽次數(shù):359
    • 電子設(shè)備行業(yè)潔凈室中的分子污染物監(jiān)測

      在半導(dǎo)體、電視、通訊設(shè)備等電子器件行業(yè)中,潔凈室中的分子污染物(AMC*)會影響產(chǎn)品和制造設(shè)備的性能,導(dǎo)致生產(chǎn)質(zhì)量缺陷。

      *AMC=空氣分子污染

      你有這樣的煩惱嗎?

      • 手動分析需要成本、技能和時間。

      • 我想知道什么時候更換化學(xué)過濾器合適。

      • 電子元件模具的腐蝕

      • 制造設(shè)備鏡片霧鏡

      • 氧化膜耐壓性下降

      • 蝕刻不良

      • 薄膜生長不良(晶體中出現(xiàn)缺陷)

      利用 HORIBA 的 AMC 監(jiān)控系統(tǒng)可視化污染狀況并降低管理成本

      HORIBA的AMC監(jiān)測系統(tǒng)通過自動測量支持污染物濃度的趨勢監(jiān)測以及化學(xué)過濾器的維護(hù)和管理,補(bǔ)充了傳統(tǒng)的手動分析測量,為解決客戶的問題做出了貢獻(xiàn)。此外,通過結(jié)合室外大氣測量,我們可以提出更全面的測量解決方案。

      特征

      • 通過穩(wěn)定的自動連續(xù)測量
        來監(jiān)控污染趨勢,我們可以估計產(chǎn)品和外圍設(shè)備的缺陷原因,以及何時更換化學(xué)過濾器。

      • 易于操作,
        無需特殊技能。減少行政成本、時間和人力成本

      • 該系統(tǒng)可以根據(jù)您的需求進(jìn)行升級。
        使用選線器的多點測量、使用手推車的便攜式測量等(可選)

      • 不僅支持潔凈室內(nèi)的大氣測量,還支持室外空氣的大氣測量。

      操作示例

      • 潔凈室或循環(huán)空氣中分子污染物 (AMC) 的測量

      • 在一些設(shè)備周圍等地點進(jìn)行集中測量

      • 檢測特定事件,例如由于交通流量(室外空氣)增加而導(dǎo)致的氮氧化物濃度增加

      提高時間分辨率 獲取連續(xù)數(shù)據(jù)有助于 AMC 的早期檢測!

      • 它可以捕獲測量值之間的詳細(xì)波動,這是每周手動分析無法捕獲的。

      提高空間分辨率 通過多點測量估計 AMC 的來源!

      • 它在大型工廠中特別有效,因為它可以通過切換線路,用一臺設(shè)備測量多個位置(10 個或更多)。

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