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半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中露點(diǎn)儀選擇-在線露點(diǎn)計(jì)TK-100

  • 發(fā)布日期:2024-07-25      瀏覽次數(shù):679
    • 半導(dǎo)體芯片對(duì)現(xiàn)代社會(huì)的重要性不言而喻,是支持5G,物聯(lián)網(wǎng),AI,自動(dòng)駕駛汽車,智能穿戴等市場(chǎng)發(fā)展的關(guān)鍵因素。隨著芯片尺寸的減小和更加精密,制造工藝要求也越來(lái)越精細(xì),更嚴(yán)格的規(guī)范和生產(chǎn)誤差。反過(guò)來(lái),這將更加依賴于監(jiān)測(cè)和控制工藝條件的傳感器和儀器性能,盡可能降低減產(chǎn)或整批晶圓報(bào)廢的風(fēng)險(xiǎn)。

      被稱為半導(dǎo)體“血液”的電子氣體是芯片制造業(yè)不可缺,它參與蝕刻、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入等各個(gè)環(huán)節(jié)。它的純度影響集成電路的性能、集成度、成品率等,隨著芯片制造工藝的小型化,半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)電子氣體的純度提出了更高的要求。

      氣體中的露點(diǎn)測(cè)量是一個(gè)挑戰(zhàn),以99.9999%的高純氮?dú)鉃槔渌趾康陀?ppm,也就是100萬(wàn)個(gè)氣體分子中, 不到1個(gè)水分子。如此微量的水分子含量, 對(duì)濕度傳感器的靈敏度和準(zhǔn)確性都是一個(gè)真正的考驗(yàn)。在過(guò)往,高精度的水分儀往往伴隨著高成本,而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開(kāi)發(fā),在精度和成本上的選擇不再是魚(yú)和熊掌不能兼得的困境。

      TK-100在線露點(diǎn)儀
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      特征

      國(guó)內(nèi)開(kāi)發(fā)、國(guó)內(nèi)制造、國(guó)內(nèi)校準(zhǔn)

      露點(diǎn)測(cè)量范圍-100至+20℃dp

      精度±2℃dp

      高響應(yīng)速度

      有競(jìng)爭(zhēng)力的定價(jià)體系

      交貨快捷

      完善的支持體系

      可追溯至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

      主要用途

      手套箱內(nèi)的露點(diǎn)控制

      干燥機(jī)露點(diǎn)檢查

      熱處理爐內(nèi)氣氛控制

      潔凈室和干燥室的露點(diǎn)管理

      氣體純度控制

      天然氣水分管理

      半導(dǎo)體制造設(shè)備

      有機(jī)EL制造

      觀點(diǎn)

      高品質(zhì)國(guó)產(chǎn)露點(diǎn)儀

      過(guò)去 40 年來(lái),Techne Keisaku Co., Ltd. 一直致力于濕度管理和測(cè)量設(shè)備(主要是露點(diǎn)計(jì))。電容式(阻抗式)露點(diǎn)儀TK-100系列是Techne測(cè)量有限公司的主打產(chǎn)品,用于測(cè)量露點(diǎn)或水分含量。
      TK-100在線露點(diǎn)儀是TK-100變送器、監(jiān)視器和傳感器電纜的集合,因此您可以輕松開(kāi)始測(cè)量露點(diǎn)。

      實(shí)現(xiàn)易于安裝的價(jià)格范圍

      通過(guò)在日本進(jìn)行制造、生產(chǎn)線和校準(zhǔn)等所有工序,我們極其重視質(zhì)量,并追求以易于在各種客戶現(xiàn)場(chǎng)情況下實(shí)施的價(jià)格范圍提供產(chǎn)品。
      同時(shí),我們建立了交貨時(shí)間短的運(yùn)輸系統(tǒng)。

       

       

       

       

       

       

    聯(lián)系方式
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