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接觸式測(cè)厚儀TOF-4R05在半導(dǎo)體芯片薄膜上的運(yùn)用

  • 發(fā)布日期:2024-07-01      瀏覽次數(shù):497
    • 接觸式測(cè)厚儀TOF-4R05在半導(dǎo)體芯片薄膜上的運(yùn)用

      在半導(dǎo)體制造業(yè)中,薄膜的厚度對(duì)器件的性能和質(zhì)量有重要影響。在制造過(guò)程中,晶圓要進(jìn)行多次各種材質(zhì)的薄膜沉積,因此薄膜的厚度及其性質(zhì)(如折射率和消光系數(shù))需要準(zhǔn)確地確定,以確保每一道工藝均滿足設(shè)計(jì)規(guī)定。

      光學(xué)薄膜測(cè)量設(shè)備的光譜測(cè)量方式主要分為橢圓偏振和垂直反射兩種。在橢圓偏振方式下,光源發(fā)出的光經(jīng)由起偏器、光學(xué)聚焦系統(tǒng),以一定的角度入射圓片,經(jīng)過(guò)表面膜層和硅襯底反射的光學(xué)系統(tǒng)和起偏器,由光譜儀接受。通過(guò)對(duì)膜厚和薄膜光學(xué)常數(shù)等變量進(jìn)行回歸迭代逼近,使計(jì)算光譜和實(shí)測(cè)光譜吻合,最終所得到的迭代值即為所測(cè)薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)。

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      模型TOF-4R05
      測(cè)量方法接觸式/線性規(guī)/夾緊方式
      測(cè)量目標(biāo)薄膜、片材
      測(cè)量原理線性規(guī)/夾緊法
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      產(chǎn)品特點(diǎn)
      • 輕松快速的離線厚度測(cè)量

      • 測(cè)量數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)顯示在屏幕上

      • 測(cè)量數(shù)據(jù)還可以自動(dòng)保存到您的計(jì)算機(jī)中。

      • 由于測(cè)量是自動(dòng)進(jìn)行的,因此測(cè)量數(shù)據(jù)不存在個(gè)體差異。

      • 雷達(dá)圖也可用于調(diào)整吹塑薄膜。

      • 由于采用夾層法進(jìn)行測(cè)量,因此即使是有卷曲等的厚紙也可以測(cè)量。

      產(chǎn)品規(guī)格
      測(cè)量厚度0.03~3mm
      測(cè)量長(zhǎng)度10~10000mm
      測(cè)量間距1毫米~
      最小顯示值0.5微米
      測(cè)量壓力0.6±0.1N
      電源電壓AC100~240V 50/60Hz
      工作溫度限制5~40℃
      濕度35-80%(無(wú)冷凝)
      能量消耗50 VA(不包括電腦)
      選項(xiàng)?卷紙打印機(jī)輸出功能
      ?0.1mm間距測(cè)量功能
      ?連續(xù)測(cè)量功能
      ?各專用探頭
      ?圖像轉(zhuǎn)印功能
      ?壓紙機(jī)構(gòu)
      ?輸送速度顯示


    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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