有機(jī)薄膜的厚度膨脹測(cè)量用-激光熱膨脹儀LIX-2系列

發(fā)布日期：2024-06-06      瀏覽次數(shù)：504

有機(jī)薄膜的厚度膨脹測(cè)量用-激光熱膨脹儀LIX-2系列

可以以最小分辨率 1 nm 檢測(cè)有機(jī)薄膜、低膨脹玻璃、金屬等厚度方向的微小熱膨脹。
測(cè)量熱膨脹的方法包括推桿法、光學(xué)干涉法、遙測(cè)法和電容器法。
它采用雙光路邁克爾遜激光干涉測(cè)量法，被認(rèn)為是現(xiàn)有的精確的測(cè)量方法。
通過(guò)使用零摩擦平移鏡，只需將樣品端面加工成球面即可輕松進(jìn)行測(cè)量。
此外，通過(guò)使用可選的石英墊片，可以在改變溫度的同時(shí)測(cè)量所需的薄膜厚度。LIX-2 雙路邁克爾遜激光干涉膨脹儀是業(yè)界的商用型號(hào)。

目的

• 有機(jī)薄膜的厚度膨脹測(cè)量

• 低膨脹玻璃高精度膨脹測(cè)量

• 低膨脹金屬材料的質(zhì)量控制測(cè)量

• 密封劑膨脹的測(cè)量

• 各種電子元件的精密熱膨脹測(cè)量

• 標(biāo)準(zhǔn)膨脹計(jì)校準(zhǔn)樣品的測(cè)量

特征

• 使用平行移動(dòng)樣品架可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定測(cè)量

• 超精密測(cè)量，讀數(shù)分辨率為 1nm

• 通過(guò)使用石英樣品，還可以測(cè)量厚度為50至500μm的薄膜和薄板的厚度方向。

標(biāo)準(zhǔn)

平行移動(dòng)樣品架符合JISR3251-1995

規(guī)格

模型	LIX-2M	LIX-2L
溫度范圍	室溫～700℃	-150至200℃
樣本量	φ3~6mm x 長(zhǎng)度10mm~15mm 長(zhǎng)度方向兩端均為球面加工
測(cè)量氣氛	?真空中 ?低壓高純氦氣中
測(cè)量方法	雙光路邁克爾遜型激光干涉法

測(cè)量原理



公用事業(yè)

安裝占地面積	本體約寬2000mm x 深800mm
所需電源	主機(jī) AC100V 15A（帶插座和接地） 2處
需要接地	D級(jí)（接地電阻100Ω以下）
冷卻水	自來(lái)水或蒸餾水3L/min以上，壓力0.15MPa以上

測(cè)量示例

零膨脹玻璃的測(cè)量結(jié)果




*經(jīng)評(píng)估，所有產(chǎn)品在±150°C范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)均為10 -8 /K。