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半導體行業(yè)用軟X射線離子靜電消除裝置

  • 發(fā)布日期:2024-04-04      瀏覽次數(shù):667
    • 半導體行業(yè)用軟X射線離子靜電消除裝置

      SXN 系列通過使用軟 X 射線照射電離特定區(qū)域的空氣來消除靜電。
      非常適合在清潔環(huán)境中使用,主要用于半導體、LCD、OLED 等的制造過程。

      軟X射線離子發(fā)生器
      照射頭單元(上)和控制單元(下)

      特征

      • 清潔環(huán)境的理想選擇
        與電暈放電離子發(fā)生器不同,放電針不會產(chǎn)生顆?;蛘掣健S捎诓皇褂每諝饣蝻L扇,因此不存在氣流造成的環(huán)境干擾。

      • 與免維護 
        電暈放電離子發(fā)生器不同,它沒有放電針,因此無需更換或清潔電極。當輻照燈接近其使用壽命時,警報會通知您。

      • 離子平衡±0V
        由于⊕離子和?離子生成均勻,離子平衡在±0V時良好,不會發(fā)生反向充電。

      • 高速除靜電性能
        :瞬間電離帶電物體周圍的氣氛,可以快速衰減大范圍的靜電。

      • 緊湊的機身和
        小型頭部單元易于安裝,即使在有限的空間內(nèi)也能輕松安裝。

      輻照范圍和衰減時間性能


      照射范圍


      軟X射線照射型離子發(fā)生器的靜電消除性能
      衰減時間

      軟X射線照射的操作注意事項(法律規(guī)定)


      • 直接暴露于軟 X 射線對人體可能會產(chǎn)生有害影響并且很危險。使用本產(chǎn)品時,需要采用以下屏蔽結(jié)構(gòu)。

      • 根據(jù)電離輻射危害預防條例,您必須在預定安裝日期 30 天前向主管勞動基準監(jiān)督署提交通知。

      關于軟X射線的屏蔽(參考資料)


      通過考慮軟 X 射線屏蔽結(jié)構(gòu)材料和屏蔽率來遵守設備安全標準。


      屏蔽材料

      模型設備配置
      SXN-10V控制器SXC-10T 1臺 照射頭SXH-10V 1臺
      SXN-102V控制器SXC-102T 1臺 照射頭SXH-10V 2臺
      SXN-104V控制器SXC-104T 1臺 照射頭SXH-10V 4臺
       規(guī)格?。ㄖ鳈C、控制單元)
       模型SXN-10VSXN-102V SXN-104V 
       電源電壓/頻率AC100~240V 50/60Hz
       能量消耗23W 40W 50W 
       離子發(fā)生方式軟X射線照射法
       X射線輻射源軟X射線管
       冷卻方式自然冷卻 
       連接頭數(shù)SXN-10V×1臺SXN-10V×2臺SXN-10V x 4 臺
       頭部重量SXN-10V:0.29kg/臺
       控制器重量SXC-10T:0.52kgSXC-102T:1.14公斤SXC-104T:1.64公斤
       頭部更換指南大約運行 8,000 小時
       外部輸出 警報磁頭異常、系統(tǒng)錯誤等
       互鎖聯(lián)鎖開/關
       偏僻的遠程開/關
       力量電源開/關
       隨著時間的推移磁頭更換時間通知(7500小時)
       展示電源、聯(lián)鎖、超時、磁頭異常
       保證購買后1年
      材料厚度(毫米)
      0.1mm以上
      0.2mm以上
      玻璃1毫米以上
      氯乙烯5毫米以上
      丙烯酸纖維10毫米以上
      *抗靜電亞克力:5mm以上

      屏蔽率




    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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