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iwaki泵在半導(dǎo)體和液晶工藝運用中的重要性

  • 發(fā)布日期:2023-09-06      瀏覽次數(shù):790
    • iwaki泵在半導(dǎo)體和液晶工藝運用中的重要性

      在清潔條件至關(guān)重要的半導(dǎo)體和液晶工藝中,不得產(chǎn)生或混合顆粒或污染物。易威奇對此類精細(xì)工藝所需的超純水和化學(xué)溶液的傳輸控制技術(shù)充滿信心。
      我們利用豐富的經(jīng)驗和專業(yè)知識來滿足從化學(xué)液體輸送應(yīng)用到各種加工應(yīng)用的各種客戶要求。

      解決半導(dǎo)體和液晶領(lǐng)域所需的問題

      • 粒子

      • 在化學(xué)液體轉(zhuǎn)移過程中產(chǎn)生較少顆粒的結(jié)構(gòu)。為超潔凈制造工藝做出貢獻(xiàn)。

      • 污染

      • 高流量泵提高了從晶圓表面去除金屬和有機污染物的效率。

      • 高溫液體輸送

      • 最高耐液體溫度180度。兼容CARO(SPM)H3PO4等需要高溫液體輸送的化學(xué)液體。

      • 高壓傳輸

      • 可提供最大供氣壓力為 0.7 MPa 的泵。支持各種需要高壓放電的工藝。

      • 耐用性

      • 心臟處的波紋管采用成熟的R型波紋管??沙惺芨邏悍烹姡瑝勖L。

      • 減少停機時間

      • 易于維護(hù)的結(jié)構(gòu)無需定期重新擰緊雙頭螺栓。減少停機時間。

      • 應(yīng)用領(lǐng)域

      • 化學(xué)品供應(yīng)流程詳情
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        • 化學(xué)品供應(yīng)流程

        • 泵控制器保持流量和壓力恒定。提供穩(wěn)定的化學(xué)品供應(yīng)。

      • 清洗流程細(xì)節(jié)
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        • 清洗過程

        • 專有的無污染結(jié)構(gòu)最大限度地減少了顆粒的產(chǎn)生。

      • 照片處理細(xì)節(jié)
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        • 照片處理

        • 步進(jìn)電機驅(qū)動可實現(xiàn)高精度,再現(xiàn)性為 ±0.3% (FS) 或更小。

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        • 化學(xué)機械研磨工藝

        • 易威木的波紋管泵具有高壓排放能力,可以毫無問題地輸送 CMP 漿料。

      • 主要產(chǎn)品提供給半導(dǎo)體和液晶領(lǐng)域


      • 氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列

        氣動低脈動波紋管泵 FLP 系列


      • 氣動波紋管泵FS-H系列

        氣動波紋管泵FS-H系列


      • 氣動波紋管泵FS-N系列

        氣動波紋管泵FS-N系列


      • 自動風(fēng)門 PDA-H1 / PDA-WB / PDA-W

        自動風(fēng)門 PDA-H1 / PDA-WB / PDA-W


      • 化學(xué)補給泵CFD

        化學(xué)補給泵CFD


      • 光刻膠分配泵PDS-105R

        光刻膠分配泵PDS-105R


      • 電磁計量泵EWN-W系列(水質(zhì)控制用)

        電磁計量泵EWN-W系列(水質(zhì)控制用)


      • 內(nèi)部液體不可補充的 pH/ORP 傳感器 8000 系列

        內(nèi)部液體不可補充的 pH/ORP 傳感器 8000 系列


      • 化學(xué)罐 CT-U (25 – 120L)


      聯(lián)系方式
      • 電話

      • 傳真

      在線交流
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