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高性能殘余氣體分析儀 (RGA) 光譜儀 MPH介紹

  • 發(fā)布日期:2023-05-22      瀏覽次數(shù):2215
    • 高性能殘余氣體分析儀 (RGA) 光譜儀 MPH介紹

      特點(diǎn) 

      ?每點(diǎn)1.1ms的超高速數(shù)據(jù)采集(模擬掃描,選擇性峰值) 

      ?標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)器(可選) 

      ?可進(jìn)行TCP/IP以太網(wǎng)連接 ?雙燈絲 (8)
      ?可現(xiàn)場(chǎng)更換的二次電子倍增管 

      ?結(jié)合陽(yáng)極、陰極和排斥電極的燈絲套件 

      ?小型傳感器將安裝空間降至低 

      ?2位動(dòng)態(tài)范圍
      ?MDPP(最小檢測(cè)部分電壓)為<2.9E-2Pa(7amu) <b13> 

      ?提高信噪比 

      ?無(wú)需匹配傳感器和控制單元(SCU) 

      ?通過(guò)雙重包裝在潔凈室環(huán)境中進(jìn)行組裝、檢查和運(yùn)輸 

      ?符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

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      新設(shè)計(jì)的傳感器提高了平均故障時(shí)間,降低了運(yùn)行成本 Transspector MPH的離子源由兩根燈絲組成,它們結(jié)合了陽(yáng)極,陰極和驅(qū)蟲器電極。 雙燈絲設(shè)計(jì),使用主和備用,允許傳感器長(zhǎng)時(shí)間使用,避免災(zāi)難性的系統(tǒng)故障。 Transpector MPH 還允許您為您的應(yīng)用選擇合適的燈絲(鎢用于含鹵素工藝,釔涂層銥用于含氧工藝),因此該工藝不會(huì)縮短燈絲的使用壽命。

      更換顯影器MPH的燈絲相當(dāng)于更換傳統(tǒng)RGA的整個(gè)離子源。 維護(hù)點(diǎn)的減少大大降低了總成本。 Transpector MPH 通過(guò)用燈絲代替離子源來(lái)延長(zhǎng) RGA 的使用壽命和靈敏度,這些燈絲通常會(huì)因長(zhǎng)期使用而受到污染。

      該傳感器還為可現(xiàn)場(chǎng)更換的二次電子倍增管(EM)(如果配備二次電子倍增管)增加了價(jià)值。 在日常維護(hù)期間,EM可以在現(xiàn)場(chǎng)快速更換。 新的二次電子倍增管進(jìn)一步提高了法拉第杯(FC)的靈敏度,并有助于其使用壽命。


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