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SEM樣品的金屬鍍膜裝置MSP-1S的產(chǎn)品檢測優(yōu)勢

  • 發(fā)布日期:2022-10-20      瀏覽次數(shù):1230
    • SEM樣品的金屬鍍膜裝置MSP-1S的產(chǎn)品檢測優(yōu)勢

      MSP-IS鍍金機(jī) 鍍膜儀是為SEM的樣品制備而設(shè)計(jì)的專用噴金儀,為樣品表面噴金屬鍍層。

      工作原理:

      采用了一個平板控制電極,通過低電壓放電進(jìn)行磁控濺射的噴鍍。


      MSP-IS鍍金機(jī) 鍍膜儀產(chǎn)品優(yōu)勢:

      ●起弧電壓低有效減弱樣品受到的離子損傷和熱損傷。

      ●可移動式樣品臺:工作時,樣品溫升小,能有效防止由于離子濺射而產(chǎn)生的樣品變形。

      ●內(nèi)置真空泵,一體式設(shè)計(jì)

      ●MSP-IS是-一臺只要啟動“EVAC" 按鈕,就可以全自動完成噴涂的設(shè)備。

       

      操作方法:

      將樣品放入樣品室,根據(jù)鍍層厚度需求設(shè)置噴鍍時間,按下啟動按鈕后,從預(yù)抽氣到噴鍍整個過程都將自動進(jìn)行,噴鍍結(jié)束后旋轉(zhuǎn)泵自動終止,樣品室內(nèi)充入空氣后即可取出樣品

       

      技術(shù)參數(shù)

      真空系統(tǒng): 抽速20L/min,旋轉(zhuǎn)泵最高可抽到2Pa

      樣品室真空度: 在濺射時的真空度保持6-8Pa

      靶和樣品的距離: 標(biāo)準(zhǔn)25 mm,也可以調(diào)整輔助平臺,增大距離至35 mm

      樣品室尺寸: 高65 mm,直徑120 mm,由耐熱玻璃制成

      靶材尺寸: 直徑55 mm

      靶材種類: 標(biāo)配金.鈀,可選配金、鉑、金.鈀合金、鉑

      樣品臺: 直徑50 mm。與陽極分離的可移動式樣品臺

      設(shè)備尺寸: 長200mmX寬340mmX高350 mm。重量: 14 Kg

      電源: 100V單相交流電,最大電流為10A



    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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